潔凈無塵室的分類
潔凈無塵室之分類：
亂流式：空氣由空調箱經風管與潔凈室 無塵室內之空氣過濾器進入潔凈無塵室，并由潔凈室 無塵室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室 無塵室等級1,000-100,000級。構造簡單、系統建造成本，潔凈室 無塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室 無塵室等級。
層流式： 層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風，此型式適用于潔凈室 無塵室等級需定較高之環境使用，一般其潔凈室 無塵室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：
1、水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。 構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩定。
2、垂直層流式：潔凈室 無塵室房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產生的塵�？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。 管理容易，運轉開始短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀態或作業人員所影響。--潔凈無塵室
復合式：將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
若能徹底實施“不攜入”技術，無塵室內的潔凈度就可以維持。但現實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的無塵室內要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用以除去已發生的微粒子變得非常重要。通常已發生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發性的振動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。
在最高等級的無塵室中從天花板到地面，完全除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動。這是在約10秒內將室內空氣和完全過濾空氣完全交換所計算出來的數值。同時，空氣的流向也必須要有精確的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無阻，因為在流通路徑中有障礙物的話，容易產生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域，使得附近已發生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內，而一部分會附著在周邊機器設備的表面而引起污染。--潔凈無塵室
