1.系統
室內的空氣凈化系統可分為水平層流、垂直層流和亂流。選擇氣流形式一則參照慣例，二則取決于房間的工作參數。
2.潔凈度與換氣次數
房間的潔凈度取決于單位時間的換氣次數，因此慎密考慮房間的工作性質、以及生產工藝要求，再決定凈化系統的技術參數。
3.結構
為了保證氣流幾乎不受干擾，就必須進行結構設計，必要的謹慎可以防止房間里任何地方的灰塵積累。
4.設計方案
要確定設計方案，必須先對房間的工作性質以及其中的氣流條件進行認真的考慮。發塵量大的車間不宜采用地面送風形式，潔凈度要求高的車間應盡可能遠離其它車間。
5.材料
作為潔凈室頂棚，墻面和地板的材料必須是不宜破裂、不易沾顆粒，以及幾乎不起塵的材料，另外根據房間不同的工作條件，還必須考慮材料的化學性能是否穩定。
6.壓力和氣流
為了保證房間的潔凈度，必須防止外面污染氣流進入室內，要達到這個目的，房間里必須保持正壓。為了獲得所要求的房間壓力，必須補充適當的新鮮空氣。
7.輔助設備
必要時還得安置一些輔助設備：如新風口的空氣指示儀，隔斷上的傳遞窗等。這些設備必須適合房間的要求，并且必須真正了解其功能.
8.人和物的控制
人和物是潔凈室的主要塵源，因此必須充分控制，例如：在進入凈化房前，所有的人都要經過人凈系統，更換無塵衣，并且要接受凈化系統功能的基本教育。
9.給排水和送風裝置及電源
根據所要運行的車間，提供必須的給排水裝置，送風裝置和電源，這些裝置和所涉及的設備必須易于使用和設計，同時不得有勃于空氣凈化系統。
潔凈室的規劃 一般性的規劃重點
潔凈室的整廠規劃(Turn Key Projects)(如表3-1)，因涉及范圍極廣，需建筑、水電、空調、環保、防震、制造等各項專業人才共同規劃，盡管不少潔凈室規劃，多需要就于既有的建筑物，然而，為避免失誤應盡可能事先確認下列事項：
| 1. 潔凈度等級。 |
2. 室壓之平衡措施。 |
| 3. 溫濕度要求。 |
4. 機器設備之必要性。 |
| 5. 確定生產流程。 |
6. 局部排氣之必要性。 |
| 7. 日后擴充彈性。 |
8. 足夠維護保養空間。 |
| 9. 空調送風方式。 |
10. 員工休息區之安排。 |
| 11. 設施與動力之配置。 |
12. 室內凈高與樓板載重。 |
| 13. 設備空間與管道間。 |
14. 門窗宜少，氣密性要佳。 |
| 15. 靜電、振動及噪音。 |
16. 生產線與活動線少交叉。 |
| 17. 公害、污染與防災。 |
18. 安裝及運轉成本之衡量。 |
潔凈室的動線規劃
所謂[動線]，是指人員、原料之入室路線，與人員與成品的出室路線。規劃時，要檢討分析人(車)路徑、配管系統、排氣管道、原料搬運和作業之流程等，盡量縮短動線，并避免交叉，以防止交叉污染(Cross Contamination)。
要點：
1． 作業者、材料、化學藥品等動線勿集中。
2． 制造裝置之出入，需不對作業產生大影響。
3． 超潔凈室四周，宜設緩沖區(即較差潔凈區)。
工業潔凈室(ICR)之潔凈度與適用和分類表
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潔凈度
產業別
|
潔凈度(≥0.5μm，個/ft3) |
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1
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10
|
100
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1000
|
10000
|
100000
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| LSI制造工程 |
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| LSI組立檢查工程 |
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| (矽)單結晶 |
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| 照像光罩photo mask |
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| 光阻涂膜photoresist |
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| 一般液晶(tn,stn) |
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| 顯示用液晶(tft,mim) |
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| 投影用液晶(tft) |
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| 混合(hybrid)IC |
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| 印刷基板材料 |
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| 印刷配線板 |
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| 電晶體、二極體 |
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| 精密電子部品 |
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| 磁頭 |
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| 磁碟 |
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| 電腦、磁碟裝置組立 |
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錄影帶、光碟
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照像底片
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| 光織 |
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| 精密軸承 |
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光學鏡片
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| 半導體制造裝置 |
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| 潔凈管及閥類 |
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| LSI制造用化學藥品 |
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| 精密測定機制造 |
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| 清洗無壓衣 |
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| 印刷、制版 |
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生物潔凈室(BCR)之潔凈度與適用和分類表
潔凈度
產業別 |
潔凈度(≥0.5μm，個/ft3) |
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| (醫藥品) |
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| 抗生物質 |
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| 注射藥 |
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血清
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藥劑包裝過程
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醫療用器具
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(病院)
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無菌手術室
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|
手術室
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無菌病室
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調劑室
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(食品)
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牛乳·乳制品
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|
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食肉·食肉加工
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煉乳制品
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|
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|
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清酒·酒類
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糕餅·豆腐
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|
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制果·面包
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(動物實驗)
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|
飼養區
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隔離區
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|
其他
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磨茹·菌類培養
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觀葉植物培養
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|
|
|
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化妝品
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美國太空署(NASA)之無菌室規范重點(NHB-5340.2)
| 無菌室(BCR)潔凈等級 |
微粒子 |
微生物 |
| 粒徑 |
累積粒子數
個/ft3(個/L) |
浮游量
個/ft3(個/L) |
沈降量
個/ft2(個/M2) |
| 100 |
≥0.5 |
≤100(≤3.5) |
≤0.1(0.0035) |
1200(12900) |
| 10000 |
≥0.5 |
≤10000(≤350) |
≤0.5(0.0176) |
6000(64600) |
| ≥0.5 |
≤65(≤2.3) |
| 100000 |
≥0.5 |
≤100000(≤3500) |
≤2.5(0.0884) |
3000(323000) |
| ≥5.0 |
≤700(≤25) |
FS-209E潔凈度等級(1992年)
| 粒徑大小 |
≥0.1μm |
≥0.2μm |
≥0.3μm |
≥0.5μm |
≥5μm |
| 微粒子數 |
個/M3 |
個/ft3 |
個/M3 |
個/ft3 |
個/M3 |
個/ft3 |
個/M3 |
個/ft3 |
個/M3 |
個/ft3 |
| S1制級 |
英制級 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
M1
|
|
350
|
9.01
|
75.7
|
2.14
|
30.9
|
0.875
|
10.0
|
0.283
|
|
|
|
M1.5
|
1
|
1240
|
|
265
|
7.50
|
106
|
3.00
|
35.3
|
1.00
|
|
|
|
M2
|
|
3500
|
35.0
|
757
|
21.4
|
309
|
8.75
|
100
|
2.83
|
|
|
|
M2.5
|
10
|
124000
|
|
2650
|
75.0
|
1060
|
30.0
|
353
|
10.0
|
|
|
|
M3
|
|
35000
|
99.1
|
7570
|
214
|
3090
|
87.5
|
1000
|
28.3
|
|
|
|
M3.5
|
100
|
|
|
26500
|
750
|
10600
|
300
|
3530
|
100
|
|
|
|
M4
|
|
|
|
75700
|
2140
|
30900
|
875
|
10000
|
283
|
|
|
|
M4.5
|
1000
|
|
|
|
|
|
|
35300
|
1000
|
247
|
7.00
|
|
M5
|
|
|
|
|
|
|
|
100000
|
2830
|
618
|
17.5
|
|
